المجهر الصوتي الماسح (SAM) يُستخدم في تغليف رقاقات الفليب تشيب في اتجاهين رئيسيين: الفحص غير المدمر للعيوب الداخلية ومراقبة جودة العمليات التصنيعية. وترد التطبيقات التفصيلية كما يلي:

1. كشف العيوب الداخلية

 تحديد مواقع عيوب الانفصال الطبقي

 يكشف الانفصالات بين الرقاقة والركيزة، وكذلك بين مادة الحشو السفلي والرقاقة أو الركيزة. ويحدد موقع ونطاق الانفصال السطحي من خلال إشارات الانعكاس فوق الصوتية.

 يتميز بحساسية عالية للانفصالات ذات الحجم المايكرومتري، ويمكنه كشف العيوب غير المرئية الناتجة عن الإجهاد الحراري أو عمليات التغليف غير السليمة.

تحليل فراغات مادة الحشو السفلي

يفحص الفقاعات والفراغات والتوزيع غير المتساوى داخل مادة الحشو السفلي، لضمان تغطية المادة اللاصقة لفجوات نتوءات اللحام بالكامل، وتجنب تركيز الإجهاد الميكانيكي وأعطال تبديد الحرارة.

يعرض تصوير المسح C موقع ونسبة مساحة الفراغات بشكل بصري.

تقييم جودة لحام نتوءات اللحام

يحدد عيوب الوصلات اللحام الضعيفة والشقوق والتجسير بين نتوءات اللحام، لضمان موثوقية التوصيل الكهربائي.

يستخدم تصوير المقطع الطولي للمسح B لتحليل عمق واتجاه انتشار الشقوق الداخلية في نتوءات اللحام.

2. تحسين العمليات ومراقبة الجودة

التحقق من عملية حقن مادة الحشو السفلي

يراقب اتساق تدفق مادة الحشو السفلي ونتيجة المعالجة الحرارية، ويعمل على تحسين معطيات الصب لتقليل معدل الفراغات.

دعم اختبارات الموثوقية

بعد إجراء اختبارات الموثوقية مثل الدوران الحراري والصدمات الميكانيكية، تتم مقارنة نتائج المسح لتقييم انتشار العيوب، بما في ذلك توسع الانفصالات وشقوق الإرهاق في نتوءات اللحام.

الفحص التلقائي للدفعات الإنتاجية

يدعم المسح السريع لمصفوفات رقاقات الفليب تشيب، ويحدد مواقع العيوب تلقائيًا ويحسب كثافة العيوب، مما يعزز كفاءة الفحص في خطوط الإنتاج.

 المزايا التقنية والقدرات الأساسية

تصوير عالي الدقة: يستخدم مسبارات فوق صوتية عالية التردد بمدى 50–300 ميجاهرتز بدقة مستوى المايكرومتر، ومناسب لهياكل الفليب تشيب المصغرة.

أنماط المسح المتعددة

المسح C: تصوير التوزيع المستوي للانفصالات والفراغات؛

المسح B: تحليل العمق الطولي للعيوب؛

المسح T (المسح الطبوغرافي): إعادة بناء البنية الداخلية ثلاثية الأبعاد.

التحليل التلقائي: يقوم البرنامج بحساب مساحة العيوب وإحداثياتها تلقائيًا، وإصدار تقارير فحص كمية.

ملخص قيمة التطبيق

بفضل قدرته على التصوير غير المدمر وعالي الدقة، يوفر SAM ضمانًا جوهريًا لجودة تغليف رقاقات الفليب تشيب:

الوقاية من المخاطر الخفية: كشف عيوب العمليات كالانفصالات والفراغات أثناء التغليف لمنع أعطال الأجهزة اللاحقة.

تحسين أداء المواد: التحقق من سلامة مادة الحشو السفلي لتحسين قدرة تبديد الحرارة والقوة الميكانيكية.

تسريع تكرار تحسين العمليات: تحسين معطيات التغليف بناءً على بيانات العيوب وتقصير دورة البحث والتطوير.

يعد SAM طريقة فحص معيارية للإنتاج الضخم للتغليف عالي الكثافة مثل رقاقات المعالجات المركزية ومعالجات الرسوميات، ويلبي المواصفات الصارمة بما في ذلك معيار الدرجة السيارية AEC-Q006.